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申请/专利权人：常州高特新材料股份有限公司
摘要：本发明属于单晶硅切割技术领域，具体涉及一种水性硅片金刚线切割液，包括由环氧己烷和环氧丙烷组成的表面活性剂、润湿剂、分散剂、醇醚类助剂以及水。本发明的水性硅片金刚线切割液具有良好的润滑、分散、冷却及除屑性能，且制备方法简单，成本低廉，适合推广应用。
主权项：1.一种水性硅片金刚线切割液，其特征在于，包括如下组分按质量百分比为：环氧己烷和环氧丙烷30%润湿剂10%分散剂10%助剂5%去离子水45%；所述环氧己烷和环氧丙烷按质量比为0.5~1.5:1组成；所述助剂为戊二醇。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州高特新材料股份有限公司 一种水性硅片金刚线切割液
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