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一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置 

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申请/专利权人:华中科技大学

摘要:本发明公开了一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置,在被测透明材料的上方设置光源、色散探头、光谱仪,下方设置反射板;光源发出的复色光波经过色散探头散色,第一光波和第二光波分别聚焦于被测透明材料的上表面和下表面并被反射回色散探头;光谱仪接收反射回来的第一光波和第二光波,并通过计算机分别测得第一光波和第二光波的位移数据lλ1、lλ2;控制色散探头在其光轴方向上位移,使第二光波聚焦于反射板的表面;移去被测透明材料,复色光中的第三光波聚焦于反射板的表面,反射板将接收到的第三光波反射回色散探头,并被光谱仪接收,通过计算机测得第三光波的位移数据lλ3。本发明具有操作简单,通用型性好、可同时测量厚度和折射率等优点。

主权项:1.一种测量透明材料厚度和折射率的方法,其特征在于,在被测透明材料的上方设置光源、色散探头、光谱仪,下方设置反射板;光源发出的复色光波经过色散探头散色,其中第一光波和第二光波分别聚焦于被测透明材料的上表面和下表面并被反射回色散探头;光谱仪接收反射回来的第一光波和第二光波,并通过计算机分别测得第一光波和第二光波对应的位移数据lλ1、lλ2;控制色散探头在其光轴方向上位移,使第二光波聚焦于反射板的表面;移去被测透明材料,复色光中的第三光波聚焦于反射板的表面,反射板将接收到的第三光波反射回色散探头,并被光谱仪接收,通过计算机测得第三光波对应的位移数据lλ3;根据lλ1、lλ2、lλ3计算出被测透明材料的厚度和折射率,计算公式如下:H=[lλ2-lλ1]+[lλ3-lλ2]; 其中,H为被测透明材料的厚度;lλ1、lλ2、lλ3分别为第一光波、第二光波、第三光波对应的位移数据;nλ2为被测透明材料在波长为λ2时的折射率;θλ2为第二光波入射被测透明材料的入射角。

全文数据:

权利要求:

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