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申请/专利权人：湖畔光电科技(江苏)有限公司
摘要：本实用新型公开一种PECVD设备的尾气处理结构，包括防气流反冲管道和过滤器，剩余气体与残留粉尘从反应腔中流向防气流反冲管道与过滤器后被抽到真空泵中；残余粉尘在流经过滤器时被过滤掉，不会造成真空泵堵塞。剩余气体与粉尘反冲时，气体与粉尘从防气流反冲管道的右端进入，防气流反冲管道的半球状结构则会出现反向回流，该反向回流则会阻碍剩余气体与粉尘的反冲，从而达到防气流反冲导致腔室污染的效果。本实用新型提供的PECVD设备的尾气处理结构可以有效的防止真空泵被反应腔残留的粉尘堵塞，极大的延长了真空泵的保养时间，同时在真空泵异常时通过管路设计可以有效的防止气流反冲，导致反应腔被粉尘污染，避免影响产品的良率。
主权项：1.一种PECVD设备的尾气处理结构，其特征在于：包括防气流反冲管道，PECVD设备的反应腔的排气管与所述防气流反冲管道的进气端相连接，所述防气流反冲管道包括主通道和交错分布在所述主通道两侧的防反冲通道，所述主通道上设置有多个弯折点，所述防反冲通道位于弯折点处，前侧进入所述主通道的剩余气体与残留粉尘会在所述防反冲通道处进行分流或回转；以及过滤器，所述防气流反冲管道的出气端通过管路与所述过滤器相连通，所述过滤器的末端通过真空管道与真空泵相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖畔光电科技(江苏)有限公司 一种PECVD设备的尾气处理结构
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