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申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
摘要：本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种腔盖及沉积设备，该腔盖包括盖体、安装座、匹配器和电极组件，安装座设置于盖体的第一侧；匹配器设置于安装座，匹配器的输入端用于电连接于外部的射频发生器；电极组件的第一端与匹配器的输出端电连接，电极组件的第二端穿过盖体，以延伸至与盖体的第一侧相背的第二侧，可以实现将外部射频发生器发出的射频信号从匹配器传递至电极组件，再输送至盖体的第二侧。该腔盖去除了同轴连接电缆，使得电极组件能与匹配器直接连接，缩短了两者之间的连接距离，从而缩短了射频信号的传输距离，进而提高了射频信号的传输效率，减少了能量损失，满足高频信号的传输。
主权项：1.腔盖，其特征在于，包括：盖体10；安装座20，设置于所述盖体10的第一侧；匹配器30，设置于所述安装座20，所述匹配器30的输入端用于电连接于外部的射频发生器；电极组件40，所述电极组件40的第一端与所述匹配器30的输出端电连接，所述电极组件40的第二端穿过所述盖体10，以延伸至与所述盖体10的第一侧相背的第二侧。
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权利要求：
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