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申请/专利权人：江阴纳力新材料科技有限公司
摘要：本实用新型属于化学沉铜设备技术领域，公开了一种化学沉铜再生液的循环控制装置，包括变径筒体、驱动环、多个叶片和多个连杆组件，变径筒体的第一端连接于再生液回流管路，第二端连接再生槽的回流口；驱动环与变径筒体转动连接并能够绕变径筒体的中心轴线往复转动；多个叶片绕变径筒体的周向设置，多个叶片的一端铰接于变径筒体，任意相邻的两个所述叶片的另一端相互搭接；多个所述连杆组件的两端分别连接驱动环和叶片，驱动环的往复转动能够带动连杆组件沿变径筒体的中心轴线伸长或收缩，进而驱动叶片转动以改变变径筒体的孔径。本实用新型通过控制多个叶片的转动实现对变径筒体的孔径的改变，从而实现对化学沉铜再生液的流速和流量的控制。
主权项：1.化学沉铜再生液的循环控制装置，设置在再生槽和化学沉铜装置之间的再生液回流管路上，其特征在于，包括：变径筒体1，所述变径筒体1的第一端连接于所述再生液回流管路，所述变径筒体1的第二端连接所述再生槽的回流口；驱动环2，所述驱动环2设于所述变径筒体1的外壁并与所述变径筒体1转动连接，所述驱动环2能够绕所述变径筒体1的中心轴线往复转动；叶片3，所述叶片3设有多个，多个所述叶片3绕所述变径筒体1的周向设置，每个所述叶片3朝向所述驱动环2的一端铰接于所述变径筒体1，任意相邻的两个所述叶片3背离所述驱动环2的一端相互搭接；连杆组件4，所述连杆组件4设有多个，多个所述转动连接于所述变径筒体1上，且所述连杆组件4的两端分别连接所述驱动环2和所述叶片3，多个所述连杆组件4与多个所述叶片3一一对应设置，所述驱动环2的往复转动能够带动所述连杆组件4沿所述变径筒体1的中心轴线伸长或收缩，进而驱动所述叶片3转动以改变所述变径筒体1的孔径。
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权利要求：
百度查询： 江阴纳力新材料科技有限公司 化学沉铜再生液的循环控制装置
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