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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型公开了导电薄膜生产领域中的一种镀膜设备用气体喷头及镀膜设备，镀膜设备用气体喷头包括与镀膜设备连通的主管道、扩散段以及盖帽，主管道内设有气体通道，扩散段上设有与气体通道连通的扩散通道，扩散段呈圆台状，扩散段尺寸小的一端与主管道连接，扩散段尺寸大的一端通过若干间隔排列的支撑柱与盖帽的底部连接，且相邻两个支撑柱之间形成排气通道。本实用新型解决了现有的喷头的排气口暴露在金属蒸气空间中，排气口容易堵塞，造成排气量不均匀，影响设备正常运行的问题，其使得整个气体喷头的最终排气端为侧向设置，防止部分金属沉积而堵塞气体喷头，提高排气量的均匀性，使得设备正常运行，从而提高电金属薄膜的生产效率。
主权项：1.一种镀膜设备用气体喷头，其特征在于，包括与镀膜设备连通的主管道、扩散段以及盖帽，三者沿气流流通的方向依次设置，所述主管道内设有气体通道，所述扩散段上设有与所述气体通道连通的扩散通道，所述扩散段呈圆台状，所述扩散段尺寸小的一端与所述主管道连接，所述扩散段尺寸大的一端通过若干间隔排列的支撑柱与所述盖帽的底部连接，且相邻两个所述支撑柱之间形成排气通道。
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权利要求：
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