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申请/专利权人：江苏众诚达应用材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置和端头保护结构，其中端头保护装置包括：装置本体，其包括沿端头保护装置的径向依次间隔设置的环形内壁和环形外壁；位于端头保护装置轴向一侧且连接于环形内壁和环形外壁之间的环形底板；依次连接的环形内壁、环形底板和环形外壁之间形成环形凹槽；设置于环形凹槽内且贴合于环形底板的环形密封圈；在端头保护装置轴向上，环形外壁的高度大于环形内壁的高度，环形凹槽的高度大于环形密封圈的高度；环形底板和环形内壁的连接处加工有第一倒角，第一倒角的延伸方向与端头保护装置的轴向之间夹角为25°。本实用新型能够确保基管端头不受外界工装磕碰损伤。
主权项：1.一种等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于，包括：装置本体，其包括沿所述端头保护装置的径向依次间隔设置的环形内壁和环形外壁；和，位于所述端头保护装置轴向一侧且连接于所述环形内壁和环形外壁之间的环形底板；依次连接的所述环形内壁、所述环形底板和所述环形外壁之间形成环形凹槽，所述环形凹槽的开口位于所述端头保护装置轴向另一侧；以及，设置于所述环形凹槽内且贴合于所述环形底板的环形密封圈；在所述端头保护装置轴向上，所述环形外壁的高度大于所述环形内壁的高度，所述环形凹槽的高度大于所述环形密封圈的高度；所述环形底板和所述环形内壁的连接处加工有第一倒角，所述第一倒角配置为，所述第一倒角的延伸方向与所述端头保护装置的轴向之间夹角为25°。
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百度查询： 江苏众诚达应用材料有限公司 等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置和端头保护结构
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