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申请/专利权人：哈尔滨工程大学

摘要：本发明属于光学干涉测量技术领域，具体涉及矢量微分剪切干涉仪用二维微分相位分布同步提取方法，包括以下步骤：步骤一：搭建光学系统，以三束物光通过正交矢量微分剪切干涉技术进行调整，使三束物光两两之间形成错位干涉，在干涉平面上，建构公式①和②；步骤二～七：利用相移装置，分别对三束物光进行相移；步骤八：将步骤二～七中储存的具有相移的矢量微分剪切干涉结果I1～I6带入公式②，得到两个正交方向上的微分相位分布和本发明能够在不损失光学系统空间分辨率的前提下，有效解决矢量微分剪切干涉图中二维微分相位的耦合问题，实现对二维微分相位分布的同步分离和定量提取。

主权项：1.矢量微分剪切干涉仪用二维微分相位分布同步提取方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：搭建光学系统，以三束物光通过正交矢量微分剪切干涉术进行调整；在干涉平面上，其所产生的矢量微分剪切干涉光强表示为： 其中，表示相位梯度，其下标表示微分方向；为通过前述相移方法对相应微分干涉光束所产生的相移，i＝1,2,3为光束编号；A、B、C代表各干涉交叉项的对比度，δx和δy分别为水平和竖直方向上的微分剪切量；两个正交方向上的微分相位可通过下式进行计算： 实现矢量微分剪切干涉仪中的二维微分相位同步提取；步骤二：利用相移装置，分别对三束物光进行相移；第一、二、三束物光之间的相对相移量分别为0、0、32π，拍摄并储存具有相移的矢量微分剪切干涉结果，记为： 步骤三：利用相移装置，分别对三束物光进行相移；第一、二、三束物光之间的相对相移量分别为0、12π、0，拍摄并储存具有相移的矢量微分剪切干涉结果，记为： 步骤四：利用相移装置，分别对三束物光进行相移，第一、二、三束物光之间的相对相移量分别为0、π、32π，拍摄并储存具有相移的矢量微分剪切干涉结果，记为： 步骤五：利用相移装置，分别对三束物光进行相移，第一、二、三束物光之间的相对相移量分别为0、32π、0，拍摄并储存具有相移的矢量微分剪切干涉结果，记为： 步骤六：利用相移装置，分别对三束物光进行相移，第一、二、三束物光之间的相对相移量分别为0、0、12π，拍摄并储存具有相移的矢量微分剪切干涉结果，记为： 步骤七：利用相移装置，分别对三束物光进行相移，第一、二、三束物光之间的相对相移量分别为0、32π、π，拍摄并储存具有相移的矢量微分剪切干涉结果，记为： 步骤八：将所述步骤二～七中储存的具有相移的矢量微分剪切干涉结果I1～I6带入公式②，得到两个正交方向上的微分相位分布和

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