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申请/专利权人：松下知识产权经营株式会社

摘要：本公开的目的在于验证MEMS传感器所使用的响应函数中的响应系数的重写和更新是否已成功。重写控制步骤ST1包括响应于来自外部系统的响应系数的重写指令，使存储装置执行将响应系数从第一响应系数重写为第二响应系数的重写过程。更新控制步骤ST2包括使电路单元执行将电路单元从第一响应系数更新为第二响应系数的更新过程。生成控制步骤ST3包括在更新控制步骤ST2之后，使数字电路单元执行根据输入到MEMS元件或模拟电路单元的测试输入信号而生成测试输出信号的生成过程。确定步骤ST4包括执行确定测试输出信号是否在测试输入信号所指定的允许范围内的确定过程。

主权项：1.一种MEMS传感器的诊断方法，所述MEMS传感器包括：MEMS元件，所述MEMS元件被配置为根据外部施加的应力的大小而输出第一模拟信号；模拟电路单元，所述模拟电路单元被配置为对从所述MEMS元件输出的所述第一模拟信号执行信号处理，以输出信号处理后的第二模拟信号；AD转换器，所述AD转换器被配置为将从所述模拟电路单元输出的所述第二模拟信号转换为数字信号；数字电路单元，所述数字电路单元被配置为基于从所述AD转换器输出的所述数字信号，根据所述应力的大小而生成输出信号，以将所述输出信号输出到外部系统；以及存储装置，所述存储装置被配置为存储所述模拟电路单元或所述数字电路单元中的至少一个电路单元所使用的响应函数中的响应系数，所述诊断方法包括：重写控制步骤，在所述重写控制步骤中，响应于来自所述外部系统的所述响应系数的重写指令，使所述存储装置执行将所述响应系数从第一响应系数重写为第二响应系数的重写过程；更新控制步骤，在所述更新控制步骤中，使所述至少一个电路单元执行将所述响应系数从所述第一响应系数更新为所述第二响应系数的更新过程；生成控制步骤，在所述生成控制步骤中，在所述更新控制步骤之后，使所述数字电路单元执行根据输入到所述MEMS元件或所述模拟电路单元的测试输入信号而生成测试输出信号的生成过程，所述测试输出信号是数字的，所述测试输入信号是模拟的；以及确定步骤，在所述确定步骤中，执行确定所述测试输出信号是否被包括在所述测试输入信号所指定的允许范围内的确定过程。

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百度查询： 松下知识产权经营株式会社 MEMS传感器的诊断方法及诊断系统