买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学

摘要：本发明公开了一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，包括如下步骤：S1、确定辅助球面反射镜的位置；S2、确定CGH补偿器的位置；S3、确定激光球面波干涉仪的位置；S4、插入平凸透镜、并确定平凸透镜相对CGH补偿器的角度；S5、误差检测。本鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，具有实现激光球面波干涉仪、CGH补偿器和辅助球面反射镜先后位置的确定，为后续平凸透镜的误差检测做好准备，避免了鸥翼型非球面曲率反转导致的测量光线相交、条纹无法解析的难题，能够适用于大口径的非球面平凸透镜的检测等优点。

主权项：1.一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、确定辅助球面反射镜（4）的位置：激光球面波干涉仪（1）向辅助球面反射镜（4）发射测试光束，测试光束照射到辅助球面反射镜（4）后反射回激光球面波干涉仪（1），并与激光球面波干涉仪（1）内的参考光束发生干涉，形成干涉条纹图，调整辅助球面反射镜（4）与激光球面波干涉仪（1）的相对位置，使辅助球面反射镜（4）的球心和激光球面波干涉仪（1）的球面波焦点（5）重合；S2、确定CGH补偿器（2）的位置：在激光球面波干涉仪（1）与辅助球面反射镜（4）之间插入CGH补偿器（2），激光球面波干涉仪（1）向CGH补偿器（2）的第一对准全息（21）发射测试光束，测试光束照射到第一对准全息（21）后反射回激光球面波干涉仪（1），并与激光球面波干涉仪（1）内的参考光束发生干涉，形成干涉条纹图，调整CGH补偿器（2）的位置，使激光球面波干涉仪（1）中形成的干涉条纹图为零条纹状态；S3、确定激光球面波干涉仪（1）的位置：移动激光球面波干涉仪（1）的位置，使得激光球面波干涉仪（1）向CGH补偿器（2）的第二对准全息（22）发出的测试光束，测试光束照射到第二对准全息（22）后反射回激光球面波干涉仪（1），并与激光球面波干涉仪（1）内的参考光束发生干涉，形成干涉条纹图，调整激光球面波干涉仪（1）位姿，使激光球面波干涉仪（1）中形成的干涉条纹图为零条纹状态；S4、插入平凸透镜（3）、并确定平凸透镜（3）相对CGH补偿器（2）的角度：将平凸透镜（3）插入CGH补偿器（2）和辅助球面反射镜（4）之间，激光球面波干涉仪（1）发出的测试光束经过CGH补偿器（2）的辅助全息（23）的衍射作用后变为平行光束照射到平凸透镜（3）平面一侧，然后沿原光路返回到激光球面波干涉仪（1），并与激光球面波干涉仪（1）内的参考光束发生干涉，形成干涉条纹图，调整平凸透镜（3）相对CGH补偿器（2）的角度，使激光球面波干涉仪（1）中形成的干涉条纹图为零条纹状态；S5、误差检测：激光球面波干涉仪（1）向CGH补偿器（2）的测试全息（24）发出的测试光束，测试光束经过测试全息（24）的衍射作用后，通过平凸透镜（3）照射到辅助球面反射镜（4），并沿原光路返回到激光球面波干涉仪（1）与激光球面波干涉仪（1）内的参考光束发生干涉，形成干涉条纹图；平动平凸透镜（3），使激光球面波干涉仪（1）中形成的干涉条纹图为零条纹状态，此时激光球面波干涉仪（1）检测到平凸透镜（3）的面形误差即为最终测量值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法