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申请/专利权人：北方夜视技术股份有限公司
摘要：本发明提供一种玻璃基结构紧凑型电子倍增器、组件及其制备方法，采用不可溶皮料+可酸溶性芯料的方式或者空心玻璃管拉丝技术或者激光加工技术，制备出大倾斜角、微小尺寸、小长径比的微结构阵列，在微孔阵列上单面及孔内镀制导电金属，然后在微孔阵列单侧表面以及通道内壁制备高二次电子发射膜层，形成一层电子倍增层。按照电子倍增层‑电极片‑电子倍增层‑电极片…电子倍增层‑绝缘垫片‑阳极”的方式进行多层的叠加，形成玻璃基电子倍增器组件，实现结构紧凑设计，开口面积比可控，具有优异的位置分辨能力、高增益、低噪声、大动态范围，兼具微通道板以及传统打拿极电子倍增器的优点。
主权项：1.一种玻璃基结构紧凑型电子倍增器，其特征在于，包括多层玻璃基材质的电子倍增层，电子倍增层之间依次层叠地形成相互之间等间隔的倍增层本体组合；每一层电子倍增层被配置成具有相同的微结构阵列，并且在所述微结构阵列位置配置导电膜层与二次电子发射膜层，使得经由所述电子倍增层堆叠构成的倍增层本体组合在沿着层叠方向形成有用于电子倍增的通道；其中，形成所述微结构阵列的多个相同的微结构单元至少在一个维度上具有微小尺寸，尺寸范围为微米级至毫米级。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方夜视技术股份有限公司 玻璃基结构紧凑型电子倍增器、组件及其制备方法
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