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申请/专利权人:华中科技大学
摘要:本发明公开了一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法,包括:获取光谱共焦薄膜厚度的波长序列和测量强度信号;基于所述波长序列对重叠峰区域进行划分并获得边缘峰信号;迭代求取所述重叠峰区域的波长信号与边缘峰信号的对称强度差得到新的单峰信号,直至所述迭代前后单峰信号变化满足精度要求。本发明的重叠峰分离方法迭代速度快,精度高,可用于对称峰重叠分解。
主权项:1.一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法,其特征在于,包括:获取光谱共焦薄膜厚度的波长序列和测量强度信号;基于所述波长序列对重叠峰区域进行划分并获得边缘峰信号;迭代求取所述重叠峰区域的波长信号与边缘峰信号的对称强度差得到新的单峰信号,直至所述迭代前后单峰信号变化满足精度要求。
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百度查询: 华中科技大学 一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法与装置
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