龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种钛酸锶薄膜滤波器的磁控溅射制备方法，包括在单晶Si基底通过旋涂工艺覆盖一层光刻胶作为牺牲层；随后通过磁控溅射设备，利用掩膜溅射方法与低温瞬态退火工艺，循环溅射第一电介质层、防击穿层、第二电介质层和导电层，得到多层膜结构；随后通过掩膜溅射方法在得到的多层膜结构上溅射电极；通过lift‑off工艺将得到的带有电极的多层膜结构与单晶Si基底分离，得到滤波器功能结构；最后进行叠加并封装，得到基于钛酸锶薄膜的滤波器，本发明方法得到的滤波器,在高频范围内具有优异的特性、体积小、重量轻、具有良好的温度稳定性，有效保证了集成电路的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种钛酸锶薄膜滤波器的磁控溅射制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤（1）：在单晶Si基底通过旋涂工艺覆盖一层光刻胶作为牺牲层；步骤（2）：利用磁控溅射设备，采用掩膜溅射方法与低温瞬态退火工艺，循环溅射第一电介质层、防击穿层、第二电介质层和导电层，得到多层膜结构；步骤（3）：通过掩膜溅射方法在步骤（2）得到的多层膜结构上溅射电极；步骤（4）：通过lift-off工艺将步骤（3）得到的带有电极的多层膜结构与单晶Si基底分离，得到滤波器功能结构；步骤（5）：对多组步骤（4）得到的功能结构进行叠加并封装，得到基于钛酸锶薄膜的滤波器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种钛酸锶薄膜滤波器的磁控溅射制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号