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申请/专利权人：正奇光能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种高双面率的TOPCon电池片及生产方法，为行业首创，需要对目前的工艺流程进行调整，在扩散掺杂工序之后增加选择性刻蚀工序，而后再正常进行绕镀及PSG去除。理论上该生产流程有望提升双面率至84‑87％以上，同时提升电池片转换效率0.07％以上。能在印刷区域保留较厚的磷掺杂poly‑Si层，保证钝化效果，提升转换效率；在非印刷区域形成较薄的磷掺杂poly‑Si层，保证双面率提升，做到两者的兼顾。
主权项：1.一种高双面率的TOPCon电池片生产方法，其特征在于，包括S100：选择性刻蚀；步骤如下：S101涂胶：将电池片的n-poly-Sipoly-Si层朝下，采用水膜覆盖的方式在电池片n-poly-Sipoly-Si层下表面均匀涂抹光刻胶；S102曝光：电池片涂上光刻胶涂层后，移至曝光机下进行曝光，曝光机出光镜头采用掩模板遮挡，使得栅线印刷区域不接受UV光照射，其他区域接受UV光照射，光刻胶会发生聚合反应；S103显影：曝光后的电池片，同样采用水膜覆盖的方式在电池片n-poly-Si层下表面均匀涂抹显影液，显影液与曝光后的光刻胶涂层进行化学反应，去掉硅片边缘的光刻胶涂层；S104干刻：经反应离子刻蚀机刻蚀n-poly-Si层下表面的非栅线印刷区域；S105去光阻：经过刻蚀或者离子注入之后，使用有机溶剂将光刻胶从硅片的表面除去。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 正奇光能科技有限公司 一种高双面率的TOPCon电池片及生产方法
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