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申请/专利权人：环晟光伏(江苏)有限公司
摘要：本发明提供了一种TOPCon电池隧穿氧化层的制备方法及TOPCon电池，涉及太阳能电池的技术领域，所述制备方法包括以下步骤：将电池片放入PECVD炉管，在高温和真空条件下电离沉积初始隧穿氧化层，然后依次通入Ar、H2和N2O对初始隧穿氧化层进行电离，得到单层隧穿氧化层，任选的，依次重复沉积初始隧穿氧化层和电离初始氧化层的步骤，以沉积出叠层隧穿氧化层隧穿，解决了现有技术中TOPCon电池通过PECVD法制备隧穿氧化层时存在的氧化层致密性较差的问题，本发明提供的TOPCon电池隧穿氧化层的制备方法提升了隧穿氧化层致密性，增强了钝化效果。
主权项：1.一种TOPCon电池隧穿氧化层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将电池片放入PECVD炉管，在高温和真空条件下电离沉积得到初始隧穿氧化层，然后依次通入Ar、H2和N2O对初始隧穿氧化层进行电离，得到单层隧穿氧化层，任选的，依次重复沉积初始隧穿氧化层和电离初始隧穿氧化层的步骤，以沉积出叠层隧穿氧化层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环晟光伏(江苏)有限公司 一种TOPCon电池隧穿氧化层的制备方法及TOPCon电池
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