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申请/专利权人:哈尔滨工业大学
摘要:一种宏动微动结合的磁悬浮运动台,它涉及一种磁悬浮运动台,本发明为解决传统的磁悬浮运动台结构复杂、负载大且成本高的问题,它包括宏动台单元和微动台单元,所述宏动台框架的中部设有矩形槽,矩形槽的四周分别设有四个安装槽,每个安装槽内设有一个水冷中空板,每个水冷中空板的下表面连接有一个绕组线圈,所述宏动台晶圆支撑架与宏动台框架连接,用于承载晶圆;所述微动台单元位于所述矩形槽内。本发明提出一种宏动微动结合的磁悬浮运动台,可以减轻宏动台的负载,减少设计复杂度,降低系统复杂度,缩小系统体积,节约成本,对超精密加工领域,尤其是光刻机领域有着重要意义。本发明属于磁悬浮技术领域。
主权项:1.一种宏动微动结合的磁悬浮运动台,其特征在于:所述一种宏动微动结合的磁悬浮运动台,它包括宏动台单元1和微动台单元2,所述宏动台单元1包括宏动台框架1-1、绕组线圈、水冷中空板1-3和宏动台晶圆支撑架,所述宏动台框架1-1的中部设有矩形槽1-1-1,矩形槽的四周分别设有四个安装槽1-1-2,每个安装槽1-1-2内设有一个水冷中空板1-3,每个水冷中空板1-3的下表面连接有一个绕组线圈,所述宏动台晶圆支撑架与宏动台框架1-1的上表面1-1连接,用于承载晶圆;所述微动台单元2位于所述矩形槽1-1-1内。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 哈尔滨工业大学 一种宏动微动结合的磁悬浮运动台
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