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申请/专利权人：安徽中科天立泰技术有限公司
摘要：本发明涉及环保检测和处理技术技术领域，公开了一种超声脱气组件及其制造方法，包括石英玻璃基底。本发明通过所获得的模块的石英玻璃侧，可以其为基层，并在其上加工微流控芯片，与预制了微流道的PDMS模块键合，形成微流控芯片；其背面的压电陶瓷模块的电极与高频高压电源连接，可在其驱动下产生超声波；待测水样通过该芯片时，在区域1由于超声波的空化作用，其中溶解气体逸出，且由于该区域石英基底亲水性强，气泡难以在该区域聚集，而随水流进入区域2，区域2石英玻璃基底表面疏水性强，气泡易于滞留及合并，并通过侧面排气通路周期性排出，该模块可有效防止后续过程中气体析出及对流道通畅性和检测准确性的影响。
主权项：1.一种超声脱气组件，包括石英玻璃基底（1），所述石英玻璃基底（1）上开设有区域1和区域2，所述区域1和区域2分别具有亲水性和疏水性，其特征在于：所述石英玻璃基底（1）上设有凹槽（2），所述石英玻璃基底（1）的底部设置有压电陶瓷模块（3），所述石英玻璃基底（1）包括石英玻璃上盖板（101）和石英玻璃下盖板（102），所述压电陶瓷模块（3）位于石英玻璃下盖板（102）的底部；所述石英玻璃上盖板（101）与石英玻璃下盖板（102）之间设置有流道（4），所述流道（4）为PDMS流道；所述石英玻璃基底（1）上加工有微流控芯片；位于区域1上的所述石英玻璃下盖板（102）上分别设置有粘结剂涂布区（103）和银浆涂布区（104）；所述粘结剂涂布区（103）和银浆涂布区（104）上分别涂布粘结剂和银浆，并利用粘结剂涂布区（103）上的粘结剂压合压电陶瓷模块（3）与石英玻璃基底（1），在压电陶瓷模块（3）的另一面涂布银浆，以用于压电陶瓷模块（3）的渗银处理，为其添加电极，并在甲基硅油浴150度条件下，垂直于石英玻璃基底（1）与压电陶瓷模块（3）接触面方向，以2.5kVmm的电场强度进行极化处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽中科天立泰技术有限公司 一种超声脱气组件及其制造方法
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