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申请/专利权人：山东省科学院新材料研究所
摘要：本发明属于无机功能薄膜材料技术领域，尤其涉及一种锌、钛共掺的铁酸铋薄膜及其制备方法。其化学通式为Bi1+ZFe1‑X‑YZnYTiXO3，其中，X为Ti元素的摩尔当量，0.13≤X≤0.16，Y为Zn元素的摩尔当量，0.05≤Y≤0.08，元素Bi过量加入，Z为Bi以重量计的过量百分数，所述薄膜共N层，第一层至第三层中Z为5％‑10％，第四层至第N‑3层中Z为15％‑20％，第N‑2层至第N层中Z为11％‑16％；锌源为硝酸锌，铁源为硝酸铁，钛源为异丙醇钛；首次在KTN晶体上采用溶胶‑凝胶法制备了择优度高的铁酸铋薄膜铋源为硝酸铋，铁酸铋薄膜具有高透过率，成本低，操作简单，更有利于其未来工业化应用；制备过程退火温度低，退火时间短，较大的降低了退火过程中的能耗，符合工业生产的环保方针。
主权项：1.一种锌、钛共掺的铁酸铋薄膜，其特征在于，其化学通式为Bi（1+Z）Fe1-X-YZnYTiXO3，其中，X为Ti元素的摩尔当量，0.13≤X≤0.16，Y为Zn元素的摩尔当量，0.05≤Y≤0.08，元素Bi过量加入，Z为Bi以重量计的过量百分数，所述薄膜共N层，第一层至第三层中Z为5%-10%，第四层至第N-3层中Z为15%-20%，第N-2层至第N层中Z为11%-16%；铋源为硝酸铋，锌源为硝酸锌，铁源为硝酸铁，钛源为异丙醇钛；所述薄膜的层数15≤N≤18，每层所述薄膜的厚度为60nm-90nm。
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