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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本申请提供了一种铌酸锂基板的刻蚀方法，包括：提供一铌酸锂基板，具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面具有第一区域和第二区域；对所述第一区域的铌酸锂材料进行改性处理，形成第一改性层；去除所述第一改性层，在所述第一表面形成图形凹槽。本申请技术方案在对铌酸锂基板进行刻蚀时，先将第一区域的铌酸锂转换为改性层，基于改性层材料与铌酸锂材料的差异性完成对第一区域的刻蚀，通过对改性层工艺参数的设定，实现铌酸锂基板的精准刻蚀，形成具有良好形貌的刻蚀图形，降低晶体损伤，从而提高器件性能。
主权项：1.一种铌酸锂基板的刻蚀方法，其特征在于，包括：提供一铌酸锂基板，具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面具有第一区域和第二区域；对所述第一区域的铌酸锂材料进行改性处理，形成第一改性层；去除所述第一改性层，在所述第一表面形成图形凹槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种铌酸锂基板的刻蚀方法
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