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光学测试件的材料测试 

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申请/专利权人:卡尔蔡司耶拿有限责任公司

摘要:本发明涉及光学测试件150的材料测试技术,例如,透镜。执行使用合适的照明模块111的角度可变的照明和或角度可变的检测,以产生数字对比度。该数字对比度可以是,例如,数字相位对比度。可以使用基于具有数字对比度的结果图像的自动材料测试的缺陷检测算法。例如,可以使用人工神经网络。

主权项:1.一种使用光学成像系统100对光学测试对象150进行材料测试的方法,其特征在于,其中,所述方法包括:对于测试对象150相对于所述成像系统100的至少一个姿势中的每个姿势:分别驱动所述光学成像系统100,通过角度可变照明和角度可变检测中的至少一个,来捕获1001所述测试对象150的至少两个图像890、800;对于所述至少一个姿势中的每个姿势:分别处理1002对应的所述至少两个图像,以生成具有数字对比度的结果图像891;以及根据至少一个所述结果图像891对所述测试对象150进行材料测试,所述结果图像891是根据所述至少一个姿势的所述至少两个图像890、800生成的;其中,进行所述材料测试包括应用自动的检测缺陷901-903的缺陷检测算法;其中,对于检测到的所述缺陷901-903,所述缺陷检测算法确定各个所述缺陷901-903对所述测试对象150的光学效应的相应的影响;以及其中,所述光学测试对象150至少部分地对可见光、红外光或紫外光透明。

全文数据:

权利要求:

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