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申请/专利权人：赛光半导体科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆传输用伸缩手臂，涉及传输设备技术领域，包括基础座，所述基础座一端安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端穿过基础座后安装有主动轮，所述主动轮位于基础座的顶部，所述基础座顶部远离主动轮一侧的两端均转动连接有从动主轮，所述主动轮和相邻的两个从动主轮之间均设有从动副轮，相较于目前的常规晶圆手臂而言，本晶圆手臂采用的是物理非固定式限位，通过晶圆落入晶圆手臂中间的凹槽内形成固定，通过感应片和传感器实现了晶圆手臂的定位功能，确保了工作的可靠性和稳定性，从而避免晃动或者掉落的风险，手臂伸缩功能的实现则达到运动可靠、维修方便的技术效果。
主权项：1.晶圆传输用伸缩手臂，包括基础座1，其特征在于：所述基础座1一端安装有伺服电机2，所述伺服电机2的输出端穿过基础座1后安装有主动轮3，所述主动轮3位于基础座1的顶部，所述基础座1顶部远离主动轮3一侧的两端均转动连接有从动主轮5，所述主动轮3和相邻的两个从动主轮5之间均设有从动副轮4，所述从动副轮4分别安装在基础座1的顶部并与其转动连接，所述主动轮3、从动副轮4、从动主轮5之间安装有传送带10，所述基础座1远离主动轮3、从动副轮4、从动主轮5的一端分别设有传感器一12、传感器二13以及传感器三14，所述传送带10位于两个从动主轮5之间的位置处设有安装座7，所述安装座7的上方设置有固定座9，所述固定座9的上方设置有晶圆手臂8，所述基础座1位于安装座7底部的位置设置有导轨滑块6，所述安装座7远离传送带10一侧的两端均设置有感应片11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛光半导体科技(苏州)有限公司 晶圆传输用伸缩手臂
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