龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州首镭激光科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆激光加工机，其包括取料机构、巡边机构、切割机构、移动平台机构及清洗机构，所述取料机构包括直线模组及设于所述直线模组上的晶圆机械臂，所述晶圆机械臂用于将晶圆在巡边机构、移动平台机构及清洗机构之间进行传递，所述巡边机构用于对晶圆圆心进行定位，所述切割机构位于所述移动平台机构上方，以对移动平台机构上的晶圆进行切割加工，所述移动平台机构包括吸盘组件及带动所述吸盘组件移动的X轴直线模组、Y轴直线模组。如此设置，可实现精确修外圆且自动化程度高，进而提高了晶圆修边及切割的效率。
主权项：1.一种晶圆激光加工机，其特征在于：包括取料机构、巡边机构、切割机构、移动平台机构及清洗机构，所述取料机构包括直线模组及设于所述直线模组上的晶圆机械臂，所述晶圆机械臂用于将晶圆在巡边机构、移动平台机构及清洗机构之间进行传递，所述巡边机构用于对晶圆圆心进行定位，所述切割机构位于所述移动平台机构上方，以对移动平台机构上的晶圆进行切割加工，所述移动平台机构包括吸盘组件及带动所述吸盘组件移动的X轴直线模组、Y轴直线模组。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州首镭激光科技有限公司 晶圆激光加工机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号