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申请/专利权人：无锡探微电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及清洗台技术领域，具体涉及一种晶圆清洗台，包括基座，所述基座顶部外壁固定连接有三个等距离圆形分布的支撑盒，且三个支撑盒顶部外壁固定连接有同一个水槽，水槽底部外壁转动连接有皮带轮一，基座顶部外壁设置有限位机构，且限位机构包括限位盒，限位盒底部内壁转动连接有齿轮，且齿轮传动轴的一端固定连接在皮带轮一的传动轴上。本实用新型克服了现有技术的不足，通过在基座上设置限位机构，限位机构中设置的齿轮和限位齿条之间的配合，方便限制齿轮转动，齿轮和清洗盘同轴转动，进而方便直接限制清洗盘的转动，从而保证了清洗盘的稳定，解决了现有的清洗盘停止转动时稳定性差的问题。
主权项：1.一种晶圆清洗台，包括基座1，其特征在于：所述基座1顶部外壁固定连接有三个等距离圆形分布的支撑盒2，且三个支撑盒2顶部外壁固定连接有同一个水槽3，所述水槽3底部外壁转动连接有皮带轮一6，所述基座1顶部外壁设置有限位机构8，且限位机构8包括限位盒9，所述限位盒9底部内壁转动连接有齿轮12，且齿轮12传动轴的一端固定连接在皮带轮一6的传动轴上，所述限位盒9底部内壁转动两个双向螺杆10，且两个双向螺杆10的外壁均螺接有两个限位齿条11，两个所述限位齿条11均与齿轮12相互啮合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡探微电子科技有限公司 一种晶圆清洗台
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