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一种硅片加热脱胶装置 

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申请/专利权人:扬州伟业创新科技有限公司

摘要:本实用新型公开了硅片脱胶技术领域的一种硅片加热脱胶装置,包括脱胶箱,脱胶箱的顶部安装有箱盖,脱胶箱的前侧安装有控制器,脱胶箱的内腔安装有放置框,脱胶箱的侧面安装有进水管和出水管,脱胶箱的内腔底部安装有电热板,脱胶箱的内腔后侧安装有温度传感器,脱胶箱的内腔两侧均安装有超声波发生器,本实用新型通过设置的放置框可以批量放置待脱胶的硅片,通过控制器、温度传感器以及超声波发生器的配合使用,能够将脱胶箱中的水加热到合适的温度,使得硅片上的胶软化,并在热水中加入适量的乳酸或者是柠檬酸溶液,加快胶软化的速度,使得在对多个硅片上的胶进行软化时无需消耗大量的时间,进而提高了脱胶的效率。

主权项:1.一种硅片加热脱胶装置,包括脱胶箱1,其特征在于:所述脱胶箱1的顶部安装有箱盖2,所述脱胶箱1的前侧安装有控制器3,所述脱胶箱1的内腔安装有用于批量放置硅片且为网状结构设置的放置框4,所述脱胶箱1的侧面顶部安装有进水管5,所述脱胶箱1的侧面底部安装有出水管6,所述脱胶箱1的内腔底部安装有电热板7,所述脱胶箱1的内腔后侧安装有温度传感器8,所述脱胶箱1的内腔两侧位于放置框4的下方均安装有超声波发生器9,所述箱盖2的顶部设置有烘干组件10。

全文数据:

权利要求:

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