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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本公开提供一种柱状样品及柱状样品的制备方法，涉及集成电路检测领域，方法包括：获取包括目标柱状样品的第一样品区域，在第一样品区域中确定目标柱状样品以及目标柱状样品在第一方向上的目标行；沿第一方向切割第一样品区域以去除第一样品区域内除目标行之外的部分，对目标行的两个切割面进行加固，以形成第二样品区域；在第二样品区域中确定目标柱状样品在第二方向上的目标列，沿第二方向切割第二样品区域以去除第二样品区域内除目标列之外的部分，对目标列的两个切割面进行加固，以形成第三样品区域；在第三样品区域中对目标柱状样品进行环状切割，以获取目标柱状样品。本公开实施例可以提高制备细小柱状样品的成功率。
主权项：1.一种柱状样品的制备方法，其特征在于，包括：获取包括目标柱状样品的第一样品区域，在所述第一样品区域中确定所述目标柱状样品以及所述目标柱状样品在第一方向上的目标行；沿所述第一方向切割所述第一样品区域以去除所述第一样品区域内除所述目标行之外的部分，对所述目标行的两个切割面进行加固，以形成第二样品区域；在所述第二样品区域中确定所述目标柱状样品在第二方向上的目标列，沿所述第二方向切割所述第二样品区域以去除所述第二样品区域内除所述目标列之外的部分，对所述目标列的两个切割面进行加固，以形成第三样品区域；在所述第三样品区域中对所述目标柱状样品进行环状切割，以获取所述目标柱状样品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 柱状样品及柱状样品的制备方法
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