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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明涉及可压缩射流及光刻机技术领域，尤其为一种低压高速射流实验装置，包括电控柜、可移动支架、射流腔室、真空计、质量流量控制器及抽真空装置，所述电控柜固定安装在可移动支架内上部，所述射流腔室和质量流量控制器均固定安装在可移动支架的上端，且质量流量控制器置于抽气口一端以向腔室内补充实验气体，用于维持腔室内的气压恒定。本发明所述的一种低压高速射流实验装置，结构简单，易于实现，填补了国内低压射流实验方法领域的空白，可实现在0.5‑10SLPM的进气流量下真空压力维持在10‑200Pa，射流中心速度可达400ms，为低压环境下开展流体相关实验提供完备清晰的指导，丰富了流体力学实验操作方式，且经验证具有极高的可行性与应用价值。
主权项：1.一种低压高速射流实验装置，其特征在于：包括电控柜1、可移动支架2、射流腔室3、真空计4、质量流量控制器5及抽真空装置，所述电控柜1固定安装在可移动支架2内上部，所述射流腔室3和质量流量控制器5均固定安装在可移动支架2的上端，且质量流量控制器5置于抽气口一端以向腔室内补充实验气体，用于维持腔室内的气压恒定；所述抽真空装置包括一台罗茨增压泵6和两台涡旋干泵7，所述罗茨增压泵6和涡旋干泵7均固定安装在可移动支架2上，所述涡旋干泵7可在大气压环境下将气体压力抽至0.3-0.5Pa，所述罗茨增压泵6用于在气载情况下增加泵的处理流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种低压高速射流实验装置
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