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申请/专利权人：广州粤升半导体设备有限公司
摘要：本发明实施例提供了一种上下料装置及外延设备，其中，上下料装置包括主腔室、存储结构、取放片机构和升降机构；主腔室具有第一开口和第二开口；第一开口用于向主腔室内放置衬底或从主腔室内取出外延片；第二开口用于与传输腔连通；存储结构固定设置在主腔室内，并位于第一开口处，用以存放衬底和或外延片，存储结构具有沿其高度方向依次设置的多个存储位；升降机构设置在主腔室内，用以带动取放片机构在主腔室内上升或下降；取放片机构设置在主腔室内，用以与升降机构配合，将衬底从存储结构取出，并经第二开口运输至主腔室的外部，和将从传输腔运输过来的外延片，经第二开口运输至存储结构存储。本申请实施例的上下料装置自动化程度高。
主权项：1.一种上下料装置，其特征在于，用于对外延设备的传输腔20进行上下料，包括：主腔室100、存储结构200、取放片机构300和升降机构400；所述主腔室100具有设置在其侧壁上的第一开口110和设置在其顶壁上的第二开口120；所述第一开口110用于向所述主腔室100内放置衬底或从所述主腔室100内取出外延片；所述第二开口120用于与所述传输腔20连通；所述存储结构200固定设置在所述主腔室100内，并位于所述第一开口110处，用以存放所述衬底和或所述外延片，所述存储结构200具有沿其高度方向依次设置的多个存储位201；所述升降机构400设置在所述主腔室100内，用以带动所述取放片机构300在所述主腔室100内上升或下降；所述取放片机构300设置在所述主腔室100内，用以与所述升降机构400配合，将所述衬底从所述存储结构200取出，并经所述第二开口120运输至所述主腔室100的外部，和将从所述传输腔20运输过来的所述外延片，经所述第二开口120运输至所述存储结构200存储。
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权利要求：
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