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申请/专利权人：深圳市瀚强科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统，涉及射频技术领域，阻抗匹配器包括第一匹配单元、第二匹配单元以及第三匹配单元；第一匹配单元、第二匹配单元以及第三匹配单元均具有可调节的电抗值，在对第一射频源、第二射频源以及负载进行阻抗匹配的过程中，第三匹配单元的电抗值被调节至预设电抗值，第一匹配单元的电抗值根据第三匹配单元的预设电抗值以及第一射频源的输出频率被调节至第一目标电抗值，以实现对第一射频源与负载的阻抗匹配，第二匹配单元的电抗值根据第三匹配单元的预设电抗值以及第二射频源的输出频率被调节至第二目标电抗值，以实现对第二射频源与负载的阻抗匹配。本申请可对多个射频源与负载进行阻抗匹配。
主权项：1.一种阻抗匹配器，其特征在于，所述阻抗匹配器用于对多个射频源与负载进行阻抗匹配，所述多个射频源包括第一射频源和第二射频源；其中，所述阻抗匹配器包括第一节点、第一匹配单元、第二匹配单元以及第三匹配单元；所述第一匹配单元连接于所述第一射频源的输出端与所述第一节点之间，所述第二匹配单元连接于所述第二射频源的输出端与所述第一节点之间，所述第三匹配单元连接于所述第一节点与所述负载之间，所述第一匹配单元、所述第二匹配单元以及所述第三匹配单元均具有可调节的电抗值；其中，在对所述第一射频源、所述第二射频源以及所述负载进行阻抗匹配的过程中，所述第三匹配单元的电抗值被调节至预设电抗值，所述第一匹配单元的电抗值根据所述第三匹配单元的预设电抗值以及所述第一射频源的输出频率被调节至第一目标电抗值，以使得所述第三匹配单元与所述第一匹配单元配合实现对所述第一射频源与所述负载的阻抗匹配，所述第二匹配单元的电抗值根据所述第三匹配单元的预设电抗值以及所述第二射频源的输出频率被调节至第二目标电抗值，以使得所述第三匹配单元与所述第二匹配单元配合实现对所述第二射频源与所述负载的阻抗匹配。
全文数据：
权利要求：
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