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申请/专利权人：中国计量科学研究院
摘要：本发明属于标准电容技术领域，具体涉及一种片上电容标准样单元及其制作方法与线性定值方法，片上电容标准单元，包括基础电容与标准电容，标准电容是在基础电容上增加叉指电极的对数得到，片上电容标准单元的标准电容值为标准电容与基础电容的电容值之差，并且标准电容值在标准电容的名义步进电容值下与标准电容的叉指电极对数呈线性关系。基于名义步进电容值与标准电容的叉指电极对数来确定片上电容标准单元的标准电容值，使得标准电容值随着叉指电极对数呈线性变化。本发明通过名义步进电容值将标准电容的叉指电极对数与标准电容值进行线性关联，一旦确定出名义步进电容值，就能根据叉指电极对数对电容标准单元进行定值，十分便捷高效。
主权项：1.一种片上电容标准单元，其特征在于：包括基础电容与标准电容，所述标准电容是在基础电容上增加叉指电极的对数得到，所述片上电容标准单元的标准电容值为标准电容与基础电容的电容值之差，并且所述标准电容值在标准电容的名义步进电容值下与标准电容的叉指电极对数呈线性关系，所述名义步进电容值是指每增加一对叉指电极所对应增加的电容值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国计量科学研究院 一种片上电容标准单元及其制作方法与线性定值方法
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