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一种双轴谐振式加速度计 

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申请/专利权人:成都博纳神梭科技发展有限公司

摘要:本发明涉及加速度计技术领域,公开一种双轴谐振式加速度计,包括:中心连接块;两个第一方向加速度检测组件,每个第一方向加速度检测组件均包括依次相连的一个第一质量块、两个第一杠杆以及一个第一谐振梁;两个第二方向加速度检测组件,每个第二方向加速度检测组件均包括依次相连的一个第二质量块、两个第二杠杆以及一个第二谐振梁,第二方向与第一方向垂直。本发明公开的双轴谐振式加速度计,第一杠杆和第二杠杆起到了放大作用力的效果,中心连接块有效提高了同一方向两个第一谐振梁或者两个第二谐振梁受力的一致性,确保了测量结果和加速度的线性度,提高了测量的准确性,增强了设备的稳定性和可靠性。

主权项:1.一种双轴谐振式加速度计,其特征在于,包括:中心连接块,悬设在衬底上;两个第一方向加速度检测组件,沿第一方向设置在所述中心连接块的两侧且用于检测沿所述第一方向的第一加速度,每个所述第一方向加速度检测组件均包括依次相连的一个第一质量块、两个第一杠杆以及一个第一谐振梁,两个所述第一杠杆沿第二方向设置,每个所述第一杠杆均能够将所述第一质量块传递的第一作用力放大至第二作用力,并将所述第二作用力传递至所述第一谐振梁以改变所述第一谐振梁的第一谐振频率,两个所述第一方向加速度检测组件的两个所述第一谐振梁的所述第一谐振频率的差值为第一频率差,根据所述第一频率差能够得到所述第一加速度;两个第二方向加速度检测组件,沿所述第二方向设置在所述中心连接块的两侧且用于检测沿所述第二方向的第二加速度,所述第二方向与所述第一方向垂直,每个所述第二方向加速度检测组件均包括依次相连的一个第二质量块、两个第二杠杆以及一个第二谐振梁,两个所述第二杠杆沿所述第一方向设置,每个所述第二杠杆均能够将所述第二质量块传递的第三作用力放大至第四作用力,并将所述第四作用力传递至所述第二谐振梁以改变所述第二谐振梁的第二谐振频率,两个所述第二方向加速度检测组件的两个所述第二谐振梁的所述第二谐振频率的差值为第二频率差,根据所述第二频率差能够得到所述第二加速度。

全文数据:

权利要求:

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