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申请/专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
摘要：本发明提供一种气液混合系统，气液混合系统包括：混合装置，混合装置设有多个混合腔室；供液系统，供液系统通过多个第一供液管路分别与多个混合腔室连通，用于向混合腔室输入增粘液体；供气系统，供气系统通过多个第一供气管路分别与多个混合腔室连通，并伸入多个混合腔室中的增粘液体内，用于分别向混合腔室通入发泡气体，以将增粘液体发泡形成气态状；浓度调节系统，浓度调节单元包括气体控制单元，气体控制单元设于第一供气管路，用于控制供气系统与多个混合腔室之间的连通与断开，以调节混合装置输出气态状的增粘液体的浓度。本发明解决的问题是现有技术只能输出固定浓度的气态HMDS，无法调节输出的气态HMDS的浓度。
主权项：1.一种气液混合系统，其特征在于，所述气液混合系统包括：混合装置100，所述混合装置100设有多个混合腔室130；供液系统200，所述供液系统200通过多个第一供液管路210分别与所述多个混合腔室130连通，用于向所述混合腔室130输入增粘液体；供气系统300，所述供气系统300通过多个第一供气管路310分别与所述多个混合腔室130连通，并伸入所述多个混合腔室130中的所述增粘液体内，用于分别向所述混合腔室130通入发泡气体，以将所述增粘液体发泡形成气态状；浓度调节系统，所述浓度调节单元包括气体控制单元，所述气体控制单元设于所述第一供气管路310，用于控制所述供气系统300与所述多个混合腔室130之间的连通与断开，以调节所述混合装置100输出所述气态状的增粘液体的浓度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种气液混合系统
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