龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及集成电路制作技术领域，特别涉及一种预电离装置及无电极等离子体箍缩系统装置。本发明提供的一种预电离装置，用于电离无电极等离子体箍缩系统装置中的气体，预电离装置包括电极和绝缘管；绝缘管内界定容置空间，电极容置于容置空间内；电极包括同轴设置且相互绝缘的内电极和外电极，外电极沿轴向方向开设有让位通道，内电极穿过让位通道并设置在绝缘管的轴心位置，外电极的相对两侧设置有绝缘层，且外电极上靠近内电极一侧的绝缘层与内电极之间存在间隙。本发明还提供一种无电极等离子体箍缩系统装置。解决了现有箍缩系统装置中产生等离子体回路形成困难的问题。
主权项：1.一种预电离装置，用于电离无电极等离子体箍缩系统装置中的气体，其特征在于：所述预电离装置包括电极和绝缘管；所述绝缘管内界定容置空间，所述电极容置于所述容置空间内；所述电极包括同轴设置且相互绝缘的内电极和外电极，所述外电极沿轴向方向开设有让位通道，所述内电极穿过所述让位通道并设置在所述绝缘管的轴心位置，所述外电极的相对两侧设置有绝缘层，且所述外电极上靠近所述内电极一侧的绝缘层与所述内电极之间存在间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种预电离装置及无电极等离子体箍缩系统装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号