龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明属于气体检测技术领域，公开了一种变质量分数复合静电纺丝CMUTs表面功能化方法及谐振式气体传感器，本发明在电容式微加工超声换能器的振膜表面设置气体敏感功能层薄膜，气体敏感功能层薄膜的孔隙率呈梯度变化，气体敏感功能层薄膜上位于振膜一侧的孔隙率低于气体敏感功能层薄膜表面的孔隙率。本发明气体敏感功能层薄膜的孔隙率是沿着厚度方向具有梯度，气体敏感功能层薄膜的下层与振膜粘性好、上层孔隙率较高，能够提高CMUTs检测灵敏度和检测极限，实现更低浓度的气体检测。
主权项：1.一种谐振式气体传感器，其特征在于，包括电容式微加工超声换能器，所述电容式微加工超声换能器的振膜表面设有气体敏感功能层薄膜，所述气体敏感功能层薄膜的孔隙率呈梯度变化，气体敏感功能层薄膜上位于振膜一侧的孔隙率低于气体敏感功能层薄膜表面的孔隙率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种变质量分数复合静电纺丝CMUTs表面功能化方法及谐振式气体传感器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号