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申请/专利权人：锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种声表面波滤波器及其制作方法、射频前端模组；方法包括：在压电衬底的表面形成第一电极图案和第二电极图案，第一电极图案包括第一叉指换能器，第二电极图案包括第二叉指换能器；形成保护金属层，保护金属层至少覆盖第二叉指换能器的至少部分表面上；在第一电极图案所在的区域形成第二抗蚀剂，且第二抗蚀剂覆盖第一叉指换能器的远离压电衬底一侧的表面；对第二电极图案进行刻蚀后第二叉指换能器的厚度小于第一叉指换能器；去除压电衬底上的抗蚀剂。使得第一叉指换能器对应的第一滤波器与第二叉指换能器对应的第二滤波器的工作频段不同，得到多路复用SAW滤波器；可以防止叉指换能器上的金属指条脱落，提高声表面波滤波器的良率。
主权项：1.一种声表面波滤波器的制作方法，其特征在于，所述声表面波滤波器包括用于不同工作频段的第一滤波器和第二滤波器；所述方法包括：在压电衬底的表面形成导电图案，所述导电图案包括所述第一滤波器对应的第一电极图案和所述第二滤波器对应的第二电极图案，所述第一电极图案包括第一叉指换能器，所述第二电极图案包括第二叉指换能器；形成保护金属层，所述保护金属层至少覆盖所述第二叉指换能器的至少部分表面上；在所述第一电极图案所在的区域形成第二抗蚀剂，且所述第二抗蚀剂覆盖所述第一叉指换能器的远离所述压电衬底一侧的表面；对所述第二电极图案进行刻蚀，以使得刻蚀后所述第二叉指换能器的厚度小于所述第一叉指换能器的厚度，且刻蚀后所述第二叉指换能器侧面保留有所述保护金属层；去除所述压电衬底上的抗蚀剂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 锐石创芯(重庆)科技有限公司 声表面波滤波器及其制作方法、射频前端模组
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