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申请/专利权人：拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司
摘要：本公开涉及半导体技术领域，具体涉及一种测温设备，解决了相关技术中用于测温件移动的设备通常移动和收纳占用空间大的问题。本公开的测温设备包括测温件、移动机构、升降机构和旋转机构，可以实现测温件的移动和升降，满足扩散设备的测温需求，通过测温设备替代手动操作，不仅有助于降低操作难度，提高生产效率，还利于提高温度数据的准确性，优化扩散设备的加热均匀性，提升工艺产品的优良率，并且，由于移动机构与升降机构之间转接配合，在需要移动或收纳测温设备时，可以将移动机构调整至沿竖直方向，减小空间占用。
主权项：1.一种测温设备，其特征在于，应用于扩散设备，所述扩散设备具有恒温区；其中，所述测温设备包括：测温件，被配置为能够插入所述恒温区；移动机构，与所述测温件连接，所述移动机构被配置为驱动所述测温件往复移动，以进入或离开所述恒温区；升降机构，被配置为驱动所述移动机构升降；旋转机构，连接所述移动机构和所述升降机构，所述旋转机构被配置为使所述移动机构能够在第一位置和第二位置之间旋转；其中，在所述第一位置，所述移动机构沿第一方向延伸，所述第一方向与竖直方向交叉，在所述第二位置，所述移动机构沿竖直方向延伸；其中，在所述测温件执行测温作业的情况下，所述移动机构位于所述第一位置；在所述测温件不执行测温作业的情况下，所述移动机构位于所述第二位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司 测温设备
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