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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明公开一种应用于硬脆材料加工的基于等离子窗原位离子注入改性方法与系统，属于超精密加工技术领域。包括用于产生并控制得到平行运动的离子束的离子加速单元、用于离子束通过约束的等离子体后输出至大气环境的等离子体窗单元，以及用于实现离子束聚焦的静电透镜单元；本发明可以实现在大气环境下的离子传输，适用于大气环境下的离子注入改性、抛光修形等功能。避免了高真空环境，大大简化了设备和操作流程，降低了成本。并且，在大气环境下进行离子注入改性通常更加方便和快捷，不需要复杂的真空系统，且设备启动和关闭的时间短。离子注入可以在材料的特定区域进行，使得可以有选择性地改善材料的局部特性，具有极高的应用前景。
主权项：1.一种应用于硬脆材料加工的基于等离子窗原位离子注入改性方法，其特征在于：离子源产生离子束，通过介质窗口实现离子束的真空环境的导出，利用静电透镜实现离子束的聚焦，实现离子束注入区域的调节，最终实现在大气环境中的离子束注入改性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种应用于硬脆材料加工的基于等离子窗原位离子注入改性方法与系统
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