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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：本公开提供了探针卡检查晶片和探针卡检查系统。探针卡检查晶片包括基底晶片以及在基底晶片上且彼此间隔开的第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片，其中位于基底晶片上的第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片的每个被分成探针垂直高度检查区域、探针水平位置检查区域和接触检查区域，其中第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片的每个包括第一焊盘阵列和第二焊盘阵列，该第一焊盘阵列位于探针垂直高度检查区域上并配置为用于检查要被检查的探针卡的第一交流AC探针和第二交流AC探针的垂直高度，该第二焊盘阵列位于探针垂直高度检查区域上并配置为用于检查要被检查的探针卡的第一VSS探针和第二VSS探针的垂直高度。
主权项：1.一种探针卡检查系统，包括：基底晶片；和第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片，在所述基底晶片上且彼此间隔开，其中位于所述基底晶片上的所述第一探针卡检查芯片和所述第二探针卡检查芯片的每个被分成探针垂直高度检查区域、探针水平位置检查区域和接触检查区域，其中所述第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片的每个包括：第一焊盘阵列，在所述探针垂直高度检查区域上，所述第一焊盘阵列配置为用于检查要被检查的探针卡的第一AC探针和第二AC探针的垂直高度，并且所述第一焊盘阵列包括在第一方向上彼此间隔开且彼此对准以形成第一行的多个焊盘；和第二焊盘阵列，在所述探针垂直高度检查区域上，所述第二焊盘阵列配置为用于检查要被检查的所述探针卡的第一VSS探针和第二VSS探针的垂直高度，所述第二焊盘阵列包括在所述第一方向上彼此间隔开且彼此对准以形成第二行的多个焊盘，所述第二行与所述第一行间隔开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 探针卡检查晶片和探针卡检查系统
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