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申请/专利权人：江苏福旭科技有限公司

摘要：本发明适用于单晶硅片生产设备技术领域，提供了一种单晶硅片倒角设备及使用方法，包括定位组件，转动设置在定位组件上的凸轮调节组件，定位组件包括外定位件；外定位件包括外定位盘，外定位盘上分别间隔插设有第一连接件、第二连接件，外定位件内部转动配合有内定位件，该单晶硅片倒角设备存在不便于对不同规格大小的待倒角单晶硅片进行对心调节，需要根据待倒角单晶硅片的规格大小，频繁的更换不同规格的凸轮，从而影响其后期的倒角效率的问题，实现对不同规格的待倒角单晶硅片的对心调节定位，整个过程中无需根据待倒角单晶硅片的规格去更换凸轮调节组件，以此提高整个设备的适用范围，增加后期的倒角效率的效果。

主权项：1.一种单晶硅片倒角设备，包括定位组件（1），其特征在于：转动设置在所述定位组件（1）上的凸轮调节组件（2），所述定位组件（1）包括外定位件（3）；所述外定位件（3）包括外定位盘（301），所述外定位盘（301）上分别间隔插设有第一连接件（4）、第二连接件（5），所述外定位件（3）内部转动配合有内定位件（6）；所述外定位盘（301）顶部开设有若干弧形滑槽（302），若干所述弧形滑槽（302）内部均滑动配合有限位挡柱（303），所述外定位盘（301）周侧面固定有耳板（304），所述耳板（304）顶部固定有支撑柱（305）；所述内定位件（6）包括内定位盘（601），所述内定位盘（601）顶部开设有若干限位槽（602），若干所述限位槽（602）分别与若干所述限位挡柱（303）滑动配合，所述内定位盘（601）顶部固定有连接柱（603），所述连接柱（603）顶部转动配合有滚轮（604），所述连接柱（603）周侧面固定有弧形弹簧（605），所述弧形弹簧（605）一端固定有插接配合在所述支撑柱（305）上的套筒（606）；所述外定位盘（301）顶部开设有对称的两弧形插接槽（306），一所述弧形插接槽（306）相对两内侧壁均开设有第一插接槽（307）；所述第一连接件（4）包括插接配合在一所述弧形插接槽（306）内部的第一底板（401），所述第一底板（401）顶部固定有伺服电机（402）；所述凸轮调节组件（2）包括有安装固定在所述伺服电机（402）输出轴上的安装筒（201）；所述安装筒（201）顶部固定有圆形定位壳（202），所述圆形定位壳（202）外顶部贯穿开设有横向槽（203），所述圆形定位壳（202）外顶部固定有对称的两侧板（204），两所述侧板（204）之间转动配合有双向螺纹丝杆（205），所述双向螺纹丝杆（205）周侧面螺纹连接有对称的两移动板（206），两所述移动板（206）底部均固定有滑动配合在所述横向槽（203）内部的移动滑轨（207）；两所述移动滑轨（207）底部均固定有第一铰接座（208），两所述第一铰接座（208）内壁均铰接配合有第一铰接臂（209）；所述圆形定位壳（202）内部转动配合有对称的两U形弧面框（210），两所述U形弧面框（210）内部均固定有弧形杆（211），两所述U形弧面框（210）内部均滑动配合有套设在弧形杆（211）周侧面的弧面板（212），两所述弧面板（212）内壁均固定有第二铰接座（213）；所述圆形定位壳（202）外周侧面固定有对称的两矩形框（214），两所述矩形框（214）内部均滑动配合有T形轨（215），两所述T形轨（215）之间固定有圆形移动壳（216），所述圆形移动壳（216）内部固定有导向板（217），所述导向板（217）相对两侧面均固定有第三铰接座（218），所述导向板（217）相对两侧面远离第三铰接座（218）一侧均固定有第四铰接座（219），两所述第一铰接臂（209）分别与两所述第四铰接座（219）铰接配合，两所述第二铰接座（213）与两所述第三铰接座（218）之间分别铰接配合有第二铰接臂（220）。

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