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申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本实用新型提供了一种柔性连接装置以及机台。所述柔性连接装置包括：柔性金属管，所述柔性金属管用于传输流体；第一接头，所述第一接头连接所述柔性金属管与机台的移动部；第二接头，所述第二接头连接所述柔性金属管与所述机台的固定部；所述柔性金属管能够在所述移动部相对于所述固定部移动时，跟随所述移动部移动。所述柔性连接装置实现机台移动部和固定部之间的柔性连接，在未拆卸柔性连接装置的情况下所述移动部可以相对于所述固定部移动，进而在进行机台的维护、调试或其他相关操作时，提高机台的可维护性和工作效率。
主权项：1.一种柔性连接装置，其特征在于，所述柔性连接装置包括：柔性金属管，所述柔性金属管用于传输流体；第一接头，所述第一接头连接所述柔性金属管与机台的移动部；第二接头，所述第二接头连接所述柔性金属管与所述机台的固定部；所述柔性金属管能够在所述移动部相对于所述固定部移动时，跟随所述移动部移动。
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百度查询： 上海积塔半导体有限公司 一种柔性连接装置以及机台
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