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申请/专利权人：江苏润阳悦达光伏科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种防带硅片吸盘，包括吸盘主体以及与吸盘主体相连接的吸盘安装座，所述吸盘主体上在与硅片接触的表面设置吸附孔并在内部设有用于与吸附孔相连通的吸气流道，所述吸气流道与吸气端相连通，吸盘主体在设置吸附孔的表面开设吸附凹槽，所述吸附凹槽采用对称结构，在吸盘主体表面形成封堵的吸附区域，吸附孔对称分布在吸附凹槽内；本实用新型的吸盘主体采用氮化铝陶瓷，可以减少吸盘本身产生的静电，减少带片现象；并且在吸盘主体上设置反吹孔，能够通过通入氮气快速实现吸盘与硅片之间的分离，进一步杜绝吸盘带片的现象。
主权项：1.一种防带硅片吸盘，其特征在于，包括吸盘主体1以及与吸盘主体1相连接的吸盘安装座2，所述吸盘主体1上在与硅片接触的表面设置吸附孔3并在内部设有用于与吸附孔3相连通的吸气流道4，所述吸气流道4与吸气端相连通，吸盘主体1在设置吸附孔3的表面开设吸附凹槽5，所述吸附凹槽5采用对称结构，在吸盘主体1表面形成封堵的吸附区域，吸附孔3对称分布在吸附凹槽5内。
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权利要求：
百度查询： 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 一种防带硅片吸盘
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