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申请/专利权人：株式会社FLOSFIA
摘要：本发明提供量产性优异的成膜方法。该成膜方法使用金属络合物，该金属络合物在含氧气氛下、升温速度为20℃min的热重‑差热分析中，在480℃～520℃的范围内具有放热峰。
主权项：1.一种成膜方法，使用金属络合物，所述金属络合物在含氧气氛下、升温速度为20℃min的热重-差热分析中，在480℃～520℃的范围内具有放热峰。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社FLOSFIA 成膜方法
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