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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：一种融合视觉反馈的压电显微镜载物台控制方法，它属于显微镜自动载物台控制技术领域。本发明解决了现有自动显微镜载物台控制方法的载物台定位精度低的问题。本发明将显微镜的载物台替换为压电平台，并配置有摄像头。根据对压电致动器的频率特性测试结果和非线性特性测试结果对压电致动器的线性模型和非线性模型进行参数辨识，再结合参数辨识结果设计压电显微镜载物台的内环控制器和外环控制器，并结合摄像头的视觉反馈来调整外环控制器的输入。通过内环控制器和外环控制器对载物台进行协同控制，以实现载物台的精准定位。本发明方法可以应用于压电显微镜载物台控制领域。
主权项：1.一种融合视觉反馈的压电显微镜载物台控制方法，所述压电显微镜为配置有摄像头的三目光学显微镜，且将三目光学显微镜的载物台替换为压电平台；其特征在于，所述方法具体包括以下步骤：步骤一、对压电致动器进行频率特性测试和非线性特性测试，获得频率特性测试结果和非线性特性测试结果；步骤二、建立压电致动器线性模型和压电致动器非线性模型，再根据步骤一的测试结果对建立的线性模型和非线性模型进行参数辨识；步骤三、根据压电致动器线性模型和压电致动器非线性模型设计压电显微镜载物台的内环控制器；步骤四、根据摄像头采集的图像计算压电显微镜载物台相对于初始状态的总位移，再将位置指令与总位移作差，并将作差结果作为压电显微镜载物台的外环控制器的输入，利用外环控制器的输出为内环控制器提供输入电压指令，即利用内环控制器和外环控制器对压电显微镜载物台进行协同控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 一种融合视觉反馈的压电显微镜载物台控制方法
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