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申请/专利权人：分子前景公司
摘要：扫描探针显微镜及操作扫描探针显微镜的方法通过以下方式来选择聚焦光束在扫描探针显微镜的探针上的优选聚焦位置：调整聚焦光束在探针上相对于探针的尖端的聚焦位置，然后测量根据聚焦光束的位置而变化的探针的响应以及根据聚焦光束的位置而变化的自探针散射的光学辐射中的至少一者。聚焦光束在探针上的优选聚焦位置基于对探针的响应和自探针散射的光学辐射中的至少一者的测量。
主权项：1.一种通过利用扫描探针显微镜的探针上的聚焦光束来操作所述扫描探针显微镜的方法，所述方法包括：将所述聚焦光束照射在所述扫描探针显微镜的所述探针上，而无需存在与所述探针上的所述聚焦光束相互作用的样品；调整所述聚焦光束在所述探针上的相对于所述探针的尖端的聚焦位置；测量以下各者中的至少一者：根据所述聚焦光束的位置而变化的所述探针的响应；以及根据所述聚焦光束的位置而变化的自所述探针散射的光学辐射；以及基于对所述探针的响应和自所述探针散射的光学辐射中的至少一者的测量来选择所述聚焦光束在所述探针上的优选聚焦位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 分子前景公司 扫描探针显微镜及对准、聚焦和测量的方法
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