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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明涉及干涉测量技术领域，提供一种光栅干涉仪及位移测量系统，光栅干涉仪的入射光为双频正交偏振激光，可以实现外差干涉，具有对环境不敏感、重复测量精度高和范围大等优点。由于测量光栅和参考光栅均为二维光栅，利用二维光栅可以实现不同干涉方向的信号测量，提高光栅干涉仪的测量自由度。干涉仪镜组、测量光栅和参考光栅相互配合，可以实现三自由度位移测量与三自由度转角测量，并达到亚纳米甚至更高的分辨率及精度。而且，通过设置反射元件可以在测量光栅上形成两次衍射，可以增大测量光的光程，提高光学细分数，提升测量精度。
主权项：1.一种光栅干涉仪，其特征在于，包括：干涉仪镜组、测量光栅以及参考光栅，所述干涉仪镜组包括偏振分光元件、四分之一波片、第一折光元件、第二折光元件以及反射元件；双频正交偏振激光经所述偏振分光元件透射得到参考光，经所述偏振分光元件反射得到测量光；所述第一折光元件和所述参考光栅依次设置于所述偏振分光元件的透射光路上；所述四分之一波片、所述第二折光元件以及所述测量光栅依次设置于所述偏振分光元件的反射光路上；所述反射元件设置于所述反射光路的反向光路上；所述参考光栅和所述测量光栅均为二维光栅。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 光栅干涉仪及位移测量系统
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