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申请/专利权人：内蒙古通威高纯晶硅有限公司
摘要：本发明提供了一种多晶硅厂废气中回收氢气的方法，涉及多晶硅技术领域。本发明包括如下步骤：S1.将废气进行洗涤，去除废气中的水分及固体杂质；S2.将废气压力提升并通过深冷去除氯硅烷和氯化氢；S3.再将废气压力提升并通过二次深冷去除氯硅烷和氯化氢；S4.废气通过活性炭将剩余的氯硅烷和氯化氢去除；S5.将废气进行气膜分离，得到渗透气和非渗透气；S6.将渗透气进行PSA吸附，将非渗透气进行排放；所述步骤S5和步骤S6中，所述渗透气为氢气，所述非渗透气为氮气，所述渗透气进行PSA吸附后得到可供使用的产品氢气。本发明将多晶硅厂排放的废气中的氢气回收利用。
主权项：1.一种多晶硅厂废气中回收氢气的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.将废气进行洗涤，去除废气中的水分及固体杂质；S2.将废气压力提升并通过深冷去除氯硅烷和氯化氢；S3.再将废气压力提升并通过二次深冷去除氯硅烷和氯化氢；S4.废气通过活性炭将剩余的氯硅烷和氯化氢去除；S5.将废气进行气膜分离，得到渗透气和非渗透气；S6.将渗透气进行PSA吸附，将非渗透气进行排放；其中，所述步骤S5和步骤S6中，所述渗透气为氢气，所述非渗透气为氮气，所述渗透气进行PSA吸附后得到可供使用的产品氢气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 一种多晶硅厂废气中回收氢气的方法
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