龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供能够更简易地测量半导体制造装置的泄漏的泄漏测量系统、半导体制造系统和泄漏测量方法。本发明的一个方式的泄漏测量系统是测量半导体制造装置的泄漏的泄漏测量系统，其包括：与上述半导体制造装置接触或连接的振动传感器；基于上述振动传感器检测的振动数据来生成振动波形图像的图像生成部；和基于上述图像生成部生成的上述振动波形图像对上述半导体制造装置的泄漏进行分析的分析部。
主权项：1.一种测量半导体制造装置的泄漏的泄漏测量系统，其特征在于，包括：与所述半导体制造装置接触或连接的振动传感器；基于所述振动传感器检测的振动数据来生成振动波形图像的图像生成部；和基于所述图像生成部生成的所述振动波形图像对所述半导体制造装置的泄漏进行分析的分析部，所述分析部具有：图像处理部，其生成由所述图像生成部生成的两个振动波形图像的差分图像，所述两个振动波形图像的一者，是基于在所述半导体制造装置没有泄漏的状态下所述振动传感器检测的所述振动数据而生成的图像，所述两个振动波形图像的另一者，是基于在要测量所述半导体制造装置的泄漏的状态下所述振动传感器检测的所述振动数据而生成的图像，所述差分图像是基于所述两个振动波形图像的二值图像而生成的，表示所述两个振动波形图像的一致区域和不一致区域；基于所述图像处理部生成的所述差分图像来计算差分比例的计算部，其中，所述差分比例是所述差分图像的全部区域所含的不一致区域占该全部区域的比例、或者所述差分图像的一部分区域所含的不一致区域占该一部分区域的比例；和基于所述计算部计算出的所述差分比例来判断所述半导体制造装置是否存在泄漏的判断部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 泄漏测量系统、半导体制造系统和泄漏测量方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号