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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明构思涉及液体供应单元和基板处理装置。根据一实施方式，基板处理装置包括：壳体，其在其中具有工艺空间；支承单元，其在所述壳体中支承所述基板；喷嘴，其将处理液体分配到支承在所述支承单元上的所述基板上；和液体供应单元，其将所述处理液体供应到所述喷嘴，其中，所述液体供应单元包括：容器，其具有存储空间，所述处理液体存储在所述存储空间中；液体供应管，其使所述处理液体从所述容器流至所述喷嘴；和微波施用构件，其在所述处理液体被供应到喷嘴之前、将微波施用至所述处理液体。
主权项：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括：壳体，所述壳体在其中具有工艺空间；支承单元，所述支承单元配置为在所述壳体中支承所述基板；喷嘴，所述喷嘴配置为将处理液体分配到支承在所述支承单元上的所述基板上；和液体供应单元，所述液体供应单元配置为将所述处理液体供应到所述喷嘴，其中，所述液体供应单元包括：容器，所述容器具有存储空间，所述处理液体存储在所述存储空间中；液体供应管，所述液体供应管配置为使所述处理液体从所述容器流至所述喷嘴；微波施用构件，所述微波施用构件配置为在所述处理液体被供应到所述喷嘴之前、将微波施用至所述处理液体；和过滤器，所述过滤器安装在所述液体供应管中，以从待供应到所述喷嘴的所述处理液体中过滤杂质；其中，所述微波施用构件设置在所述过滤器的上游，以凝结所述处理液体中的所述杂质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 液体供应单元和基板处理装置
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