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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种微机械装置，其具有硅基底100，硅基底具有置于硅基底上的氧化物层200和置于氧化物层上的微机械功能层300，它们平行于主延伸平面10延伸，其中，至少在微机械功能层300和氧化物层200中构造空穴320。本发明的核心在于，在氧化物层200和或微机械功能层300中构造入口通道250，入口通道从空穴320开始平行于主延伸平面10延伸并且在此在垂直于主延伸平面10的投影方向20上看延伸到空穴320外部的入口区域400中。本发明还涉及一种用于制造微机械装置的方法。
主权项：1.一种微机械装置，其具有硅基底100，所述硅基底具有置于所述硅基底上的介电层200和置于所述介电层上的微机械功能层300，它们平行于主延伸平面10地延伸，其中，至少在所述微机械功能层300和所述介电层200中构造有空穴320，其特征在于，在所述介电层200和或所述微机械功能层300中构造入口通道250，所述入口通道从所述空穴320开始平行于所述主延伸平面10延伸并且在此在垂直于所述主延伸平面10的投影方向20上看延伸到所述空穴320外部的入口区域400中，其中，所述微机械功能层300在所述空穴320外部在围绕所述入口区域400的部分区域中具有缺口370。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械装置和用于制造微机械装置的方法
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