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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明提供一种基于电容式微机超声换能器的神经探针，涉及神经探针技术领域，包括探针主体和电容式微机超声换能器振元，所述电容式微机超声换能器振元在所述探针主体上阵列排布，所述探针主体与外部电脑相连；其中，所述电容式微机超声换能器振元的结构依次包括上电极、振膜、结构支撑柱、绝缘层、下电极和硅基板。本发明的神经探针有利于在生物体内实现微创植入超声换能器，并且cMUT在生物体内不仅可以产生可控的超声刺激，还可以接受超声反馈从而实现生物体内的医学成像，该设备由于尺寸微小，可以极大地减小植入难度和植入式设备对生物体的生理影响。
主权项：1.一种基于电容式微机超声换能器的神经探针，其特征在于，包括探针主体和电容式微机超声换能器振元，所述电容式微机超声换能器振元在所述探针主体上阵列排布，所述探针主体与外部电脑相连；其中，所述电容式微机超声换能器振元的结构依次包括上电极、振膜、结构支撑柱、绝缘层、下电极和硅基板；所述神经探针由两个完全相同的单面探针通过热固化键合技术将背面结合而形成，两个所述单面探针的结合处形成硅板结合面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 基于电容式微机超声换能器的神经探针
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