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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
摘要：本实用新型属于半导体制造技术领域，公开了一种晶圆卡匣定位装置，包括托盘、第一限位部和第二限位部，托盘用于承托晶圆卡匣；第一限位部设置于托盘上；第二限位部与第一限位部设置于托盘同一端面上，晶圆卡匣设置于第一限位部与第二限位部之间；第一限位部和第二限位部中的至少一个沿第一方向可移动地设置在托盘上。通过将晶圆卡匣放置在托盘上，使晶圆卡匣的两端分别被第一限位部、第二限位部限制，固定晶圆卡匣在托盘上的位置，第一限位部和第二限位部中的至少一个可移动地设置在托盘上，能够实现对不同规格的晶圆卡匣进行限位，减少晶圆卡匣产生的位移，增强了晶圆卡匣以及存储在晶圆卡匣内部的晶圆的稳定性，避免晶圆因碰撞而产生损坏。
主权项：1.一种晶圆卡匣定位装置，其特征在于，包括：托盘2，用于承托晶圆卡匣1；第一限位部3，所述第一限位部3设置于所述托盘2上；第二限位部4，所述第二限位部4与所述第一限位部3设置于所述托盘2同一端面上，所述第一限位部3和所述第二限位部4在第一方向上间隔设置，所述晶圆卡匣1可拆卸地设置于所述第一限位部3与所述第二限位部4之间，使所述晶圆卡匣1在所述第一方向上的两端位置被限制；其中，所述第一限位部3和所述第二限位部4中的至少一个沿所述第一方向可移动地设置在所述托盘2上，并能够与所述晶圆卡匣1抵接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡卓海科技股份有限公司 一种晶圆卡匣定位装置
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